中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）近日宣布，中国福建省高级人民法院同意了中微针对维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（以下简称“Veeco上海”）的禁令申请，该禁令禁止Veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微第CN 202492576号专利的任何化学气相沉积装置和用于该等装置的基片托盘。该禁令涵盖TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4机型的MOCVD设备，以及在该等MOCVD设备中使用的基片托盘。中微认为Veeco EPIK 868机型MOCVD设备的旋转轴和基片托盘锁定同步装置也使用了中微涉案专利技术，因此该裁定也涵盖了Veeco的EPIK 868机型及在该设备中使用的基片托盘。该禁令立即生效执行，不可上诉。这一严格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知识产权， Veeco上海不尊重中微的知识产权。

中微于2017年7月13日向福建省高级人民法院正式起诉 Veeco上海专利侵权，申请对Veeco上海发布永久禁令，并赔偿中微经济损失1亿元人民币以上。与该诉讼有关，在禁令颁布之前，中微已经取得了一在先胜利。在今年7月中微提起诉讼后，Veeco上海向国家知识产权局专利复审委员会（以下简称“专利复审委”）提交专利无效宣告请求，主张中微专利无效。另外，还有一位自然人也对该涉案专利提起了无效宣告请求。针对两个请求，专利复审委先后分别开庭审理，并于2017年11月24日驳回了两个无效宣告请求，确认中微专利有效。